計測サービスは弊社所有の下記設備にて迅速な対応を致します。
| 視野（広視野測定モード） | 325mm×175mm | |
|---|---|---|
| 視野（高精度測定モード） | 306mm×156mm | |
| AF高さ測定精度 | ±（4.8+0.04L）µm | |
| 測定精度 | 広視野測定モード | ±0.5µm |
| 高精度測定モード | ±0.1µm | |
| ステージ移動X・Y軸 | ±0.9µm | |
| ステージ移動XY平面 | ±0.9µm | |
| ステージ移動量 | XYステージ | 300mm×150mm |
| Zステージ | 75mm | |
| 測定物の最大質量 | 7kg | |
| 測定範囲 | X軸 | 905mm |
|---|---|---|
| Y軸 | 1,005mm | |
| Z軸 | 605mm | |
| 最小表示量 | 0.0001mm（0.1 µm） | |
| 最大許容測定指示誤差 | 1.3+3L/1000µm（SP25Mプローブ使用時） ※L=任意測定長 |
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| プローピング誤差 | 1.0µm（実測値） | |
| 測定物 | 740mm（最大高さ） | |
| 800kg（最大質量） | ||
| 測定範囲 | X軸 | 700mm |
|---|---|---|
| Y軸 | 1,000mm | |
| Z軸 | 600mm | |
| 最小表示量 | 0.0001mm（0.1 µm） | |
| 最大許容測定指示誤差 | 1.7+3L/1000µm（SP25Mプローブ使用時） ※L=任意測定長 |
|
| プローピング誤差 | 1.1µm（実測値） | |
| 測定物 | 800mm（最大高さ） | |
| 1,000kg（最大質量） | ||
| 測定範囲 | X軸 | 500mm |
|---|---|---|
| Y軸 | 700mm | |
| Z軸 | 400mm | |
| 最小表示量 | 0.0001mm（0.1 µm） | |
| 最大許容測定指示誤差 | 1.3+3L/1000µm（SP25Mプローブ使用時） ※L=任意測定長 |
|
| プローピング誤差 | 1.0µm（実測値） | |
| 測定物 | 545mm（最大高さ） | |
| 180kg（最大質量） | ||
| 測定範囲（X×Y×Z） | 250×200×200mm | |
|---|---|---|
| 最小表示量/測長ユニット | 0.1µm/リニアエンコーダ | |
| 観察装置 | プログラム制御パワータレット 1×-2×-6× | |
| CCDカメラ | 白黒 | |
| 照明装置 | 垂直落射照明 | 白色LED |
| 透過照明 | 白色LED | |
| プログラム制御リング照明 | 白色LED | |
| 測定精度 | XY軸 | 2.0+3L/1000µm ※L=任意測定長 |
| Z軸 | 3.0+5L/1000µm ※L=任意測定長 |
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| 精度保証光学条件 | 2.5倍対物レンズ +中倍チューブレンズ |
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| 測定物の最大質量 | 15㎏ | |
| 測定範囲 | X軸 | 100mm |
|---|---|---|
| Z1軸（検出部） | 50mm | |
| 上下移動範囲（X軸コラム） | 350mm | |
| X軸傾斜機構 | ±45° | |
| 分解能 | X軸 | 0.1µm |
| Z1軸 | 0.1µm | |
| 真直度精度（X軸水平姿勢時） | 2.5µm/100mm | |
| 指示精度（20℃） | X軸 | ±（2.5+0.02L）µm ※L=任意測定長 |
| Z1軸 | ±（2.5+｜0.1H）µm｜ ※H=水平位置からの測定高さで±25㎜以内 |
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| 測定力 | 30±10mN（3gf） | |
| 測定範囲 | X軸 | 25mm |
|---|---|---|
| Z1軸（検出部） | 800µm、80µm、8µm ※オプションスタイラスにより、最大2,400µmまで可能 |
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| スタイラス先端形状 （角度/半径） |
60° / 2µm | |
| 検出器分解能 | 0.01µm（800µmレンジ）、0.001µm（80µmレンジ）、0.0001µm（8µmレンジ） | |
| 測定力 | 0.75mN | |
| 対応規格 | JIS1982 / JIS1994 / JIS2001 / ISO1997 / ANSI / VDA | |
